超潔淨表面加工技術

見微科技股份有限公司

見微科技股份有限公司

超潔淨表面濺鍍加工技術

我們以非接觸式電漿轟擊的方式,對整個靶面傳統加工後的

  • 加工損傷

  • Particals殘留

  • 表面異質汙染

  • 表面氧化

經過此步驟後能有助於靶材使用者

  • 大幅縮短預濺鍍時程

  • 降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)

  • 減緩靶材氧化情形

  • 並顯著提升靶材回濺物的附著能力

→最終降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue),進而使產品良率提升。 

 

其他資訊

  • 統一編號 64899661

小廣告

Events

TOP