濺鍍設備靶材公司【見微科技股份有限公司-UCSM Technology Corp】

濺鍍靶材公司-提供濺鍍設備、濺鍍靶材多項服務

UCSMTechnology Corp.

讓客戶得以於產業中取得領先地位

見微科技股份有限公司(UCSM Technology Corp.)是致力於提供濺鍍靶材產業問題解決方案的新創科技公司，我們的所發展的技術及設備提供濺鍍靶材上下游所面臨的問題的解決方案。我們運用電漿技術，成就各種電漿應用。

業界品質頂尖

提供專業級客製化的整合性方案

見微科技開發各種電漿設備，提供各種電漿相關工程問題的解決方案，我們的創新技術，讓客戶得以於產業中取得領先地位。

PRODUCTS

客製化全方位靶材檢測設備

濺鍍靶全方位靶材檢測專用設備，依照客戶端不同需求提供客製化設計、製作與服務。

客製化超潔淨靶材表面濺鍍加工設備

濺鍍靶超潔淨靶材表面濺鍍加工專用設備，依照客戶端不同需求提供客製化設計、製作與服務。

客製化濺鍍加工設備

根據我們對濺鍍系統的理解，我們得以依照客戶端的使用需求，我們能設計出相應的濺鍍設備。

4”cathode

旋轉式mag pack，擁有高功率密度、高靶材使用率，並且有優異的散熱能力。

最新消息

15Jul

見微科技通過110年度中央型SBIR計畫申請案

10年度透過中央地方攜手方案申請中央型SBIR計畫並於110年6月通過審核獲取補助。計畫內容以見微科技獨創且具產業製程破壞性的全方位濺鍍靶材檢測技術 (Full Spectrum Sputter Target Characterization, STC)作為計畫載具並且針對現今全世界最重要的半導體產業所使用靶材的濺鍍特性歸納必要檢測項目，並且作為公司一項重要的技術服務。

26Apr

109年度地方型SBIR計畫獲得優良廠商獎以及推薦申請中央型SBIR計畫

於108年申請台南地方型SBIR計畫並獲通過，以見微公司的第一項產品為一具創新性的超潔淨表面加工技術 ( Ultra Clean Surface Machining，UCSM)，將靶材表面以非接觸濺鍍轟擊的方式進行靶面加工處理以獲得潔淨的靶面，此獨創技術之機台完全由見微科公司自行開發與設計，尋找台南當地的加工製造廠協助配合進行機台開發與製作，且與台灣靶材產業領頭羊光洋應材公司共同合作，由光洋應材提供測試之靶材樣品，在濺鍍靶材領域上互相學習成長，並且109年順利結案並獲得優良廠商獎以及推薦申請中央型SBIR計畫。

22Mar

見微專精電漿設備、濺鍍加工技術

我們以高密度的電漿源移除靶材因傳統加工造成的表面損傷，汙染及清洗造成的表面氧化問題。UCSM 能提供靶材超潔淨的靶材表面特性，有助於靶材使用者，縮短預濺鍍時程，降低濺鍍過程中的靶材異常放電行為(Arcing)，提升靶材回濺物附著能力，最終降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue)，使產品良率提升。