客製化全方位靶材檢測設備-見微科技股份有限公司

見微科技股份有限公司

見微科技股份有限公司

客製化全方位靶材檢測設備

客製化全方位靶材檢測設備

濺鍍靶全方位靶材檢測專用設備,依照客戶端不同需求提供客製化設計、製作與服務。

此設備能使靶材供應商針對靶材使用者在意的濺鍍特性,包含:

  • 靶材濺鍍表面外觀檢視 (Appearance Inspection)

  • 顆粒數(particles counts)與電漿異常放電行為的次數(arcing counts)

  • 濺鍍電流電壓特性曲線 (IV Characteristic Curve)

  • 靶材濺鍍/薄膜均勻性 (uniformity)

  • 靶材使用率 (target utilization)

  • 靶材散射角度 (scattering angle)

  • 薄膜特性(Thin film characteristics)

進行驗證,進而加速研發靶材的研發速度與客戶溝通的能力。

  • 可依照需求設計能處理不同靶材尺寸範圍之設備。

  • 特殊機台設計,可針對靶材進行全方位靶材檢測。

  • 可依用戶特殊需求客製相應之功能。

  • PC based 操作介面,搭載data收集能力,易於操作。

其他資訊

  • 統一編號 64899661

小廣告

Events

TOP