客製化全方位靶材檢測設備
濺鍍靶全方位靶材檢測專用設備，依照客戶端不同需求提供客製化設計、製作與服務。
此設備能使靶材供應商針對靶材使用者在意的濺鍍特性，包含：
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靶材濺鍍表面外觀檢視 (Appearance Inspection)
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顆粒數(particles counts)與電漿異常放電行為的次數(arcing counts)
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濺鍍電流電壓特性曲線 (IV Characteristic Curve)
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靶材濺鍍/薄膜均勻性 (uniformity)
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靶材使用率 (target utilization)
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靶材散射角度 (scattering angle)
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薄膜特性（Thin film characteristics）
進行驗證，進而加速研發靶材的研發速度與客戶溝通的能力。