超潔淨表面加工技術(Ultra Clean Surface Machining)

見微科技股份有限公司

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超潔淨表面濺鍍加工服務

我們將以我們的專業協助客戶以非接觸式電漿轟擊的方式,對整個靶面傳統加工後的

  • 加工損傷

  • Particals殘留

  • 表面異質汙染

  • 表面氧化

等表面狀況進行處理,

最終產生無水無油的超潔淨表面,經過此步驟後有助於靶材使用者

  • 大幅縮短預濺鍍時程

  • 降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)

  • 減緩靶材氧化情形

  • 並顯著提升靶材回濺物的附著能力

最終能降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue),進而使產品良率提升。

 
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其他資訊

  • 統一編號 64899661

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