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我們將以我們的專業協助客戶以非接觸式電漿轟擊的方式,對整個靶面傳統加工後的
加工損傷
Particals殘留
表面異質汙染
表面氧化
等表面狀況進行處理,
最終產生無水無油的超潔淨表面,經過此步驟後有助於靶材使用者
大幅縮短預濺鍍時程
降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)
減緩靶材氧化情形
並顯著提升靶材回濺物的附著能力
最終能降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue),進而使產品良率提升。
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