超潔淨表面加工技術(Ultra Clean Surface Machining)

我們將以我們的專業協助客戶以非接觸式電漿轟擊的方式，對整個靶面傳統加工後的

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  加工損傷

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  Particals殘留

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  表面異質汙染

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  表面氧化

等表面狀況進行處理，

最終產生無水無油的超潔淨表面，經過此步驟後有助於靶材使用者

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  大幅縮短預濺鍍時程

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  降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)

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  減緩靶材氧化情形

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  並顯著提升靶材回濺物的附著能力

最終能降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue)，進而使產品良率提升。