STC全方位濺鍍靶材檢測服務

見微科技股份有限公司

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全方位濺鍍靶材檢測服務

STC濺鍍靶材全方位檢測技術,依照客戶端不同需求設計不同的檢測手法與檢驗項目。
檢驗項目

  • 靶材濺鍍表面外觀檢視 (Appearance Inspection)

  • 顆粒數(particles counts)與電漿異常放電行為的次數(arcing counts)

  • 濺鍍電流電壓特性曲線 (IV Characteristic Curve)

  • 靶材濺鍍/薄膜均勻性 (uniformity)

  • 靶材使用率 (target utilization)

  • 靶材散射角度 (scattering angle)

  • 薄膜特性(Thin film characteristics)

  • 其他客戶需求之檢驗項目

對於濺鍍設備研發能大幅縮短於客戶端驗證靶材性質的時間,進而大幅縮短靶材研發時程。
亦能藉由第三方驗證的形式,建立靶材供應商與靶材使用者溝通的橋樑!

其他資訊

  • 統一編號 64899661

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