STC全方位濺鍍靶材檢測服務

濺鍍靶材全方位檢測技術(Sputtering Target Characterization)
靶材濺鍍檢測技術是見微科技為了濺鍍產業打造的創新靶材特性檢測方式，我們提供一種全新的評鑑靶材濺鍍行為的方法，去彌補原來靶材到薄膜之間的代溝，使整體濺鍍產業可以更好的上下游進行連結。

靶材濺鍍檢測所關注的是靶材在電漿轟擊下產生的物理數據，這些數據對於靶材製造商來看，可以很快速的與靶材生產或開發參數去連結，透過靶材濺鍍檢測產生的數據，靶材商能加速靶材的開發及品質的關聯性。同時，靶材製造商能有更貼近客戶使用靶材的數據，用相似的語言與終端客戶進行溝通。

靶材濺鍍檢測產生的數據，薄膜製造商，可以與其生產製程做連結。常見的需求為再現生產過程因為靶材產生的問題，並透過靶材濺鍍檢測的數據去釐清甚麼樣的靶材特性因子會產生薄膜端生產的問題。更進一步，可將不同靶材供應商的靶材同時收集其濺鍍檢測數據，作為供應商選擇之依據。


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檢驗項目：