超潔淨表面加工服務(Ultra Clean Surface Machining)-濺鍍設備靶材公司【見微科技有限公司】濺鍍製程加工

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超潔淨表面加工服務(Ultra Clean Surface Machining)

超潔淨表面加工服務(Ultra Clean Surface Machining)

我們將使用高密度的電漿源移除全靶材表面的

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    加工損傷

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    Particals殘留

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    表面異質汙染

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    表面氧化

經過此步驟後能有助於靶材使用者

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    大幅縮短預濺鍍時程

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    降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)

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    減緩靶材氧化情形

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    並顯著提升靶材回濺物的附著能力

→最終降低靶材於濺鍍過程中產生的顆粒問題(Particles issue)，進而使產品良率提升。

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  • 統一編號 64899661

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